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  • %0 ART
  • %T Comportement électrique aux hyperfréquences dans des cavités à mode de galerie
  • %A THEOBALD J. G.
  • %A GEVREY F.
  • %A GIRE A.
  • %A GAUDIOT D.
  • %A JOUFFROY M.
  • %A TORREALBA-ANZOLA F.
  • %A AMMARI M.
  • %A GEMAYEL R.
  • %A JOURDAN P.
  • %G 0182-4295
  • %I Fondation Louis de Broglie
  • %C Paris, FRANCE
  • %D 2001
  • %V 26
  • %N 3
  • %P 471-481
  • %O Anglais
  • %K Theoretical study
  • %K Etude théorique
  • %K Measuring methods
  • %K Méthode mesure
  • %K Silicon
  • %K Silicium
  • %K Sensitivity analysis
  • %K Analyse sensibilité
  • %K Rotating disk
  • %K Disque tournant
  • %K Cavities
  • %K Cavité
  • %K Mine roadways
  • %K Galerie
  • %K Permittivity
  • %K Constante diélectrique
  • %K Microwave resonator
  • %K Résonateur hyperfréquence
  • %X A new type of microwave resonator, using gallery modes, is developed in order to measure dielectric constants. This method uses one rotating disk inside the cavity, the sample being placed on this rotating disk. Measurements were performed on samples of silicon used for integrated circuits. By this way, we can obtain one sensitivity close to the theoritical sensitivity. 
  • %S Annales de la Fondation Louis de Broglie

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