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Titre du document / Document title

Adhesion strength of copper thin-films to a E24 carbon steel : effects of substrate surface ion bombardment etching

Auteur(s) / Author(s)

CAILLER M. (1) ; OUIS A. (1) ; SCHULTZ P. J. ; SIMPSON P. J. ;

Affiliation(s) du ou des auteurs / Author(s) Affiliation(s)

(1) Univ. Nantes, ISITEM, lab. sci. surfaces interfaces mécanique, 44087 Nantes, FRANCE

Résumé / Abstract

The scratch test was applied to determine the adhesion strength of d.c. magnetron sputtered copper films onto E24 carbon steel substrates. Some of the substrates were mechanically polished and directly coated with copper, others were ion-etched with argon ions after mechanical polishing and before coating. The critical load which was very low on mechanically polished substrates, increased significantly with increasing ion etching time, reaching a maximum value about 10 times that observed after mechanical polishing alone. Auger electron spectroscopy showed that the oxygen present in the interface layer in the case of a mechanically polished substrate was completely eliminated by ion bombardment

Revue / Journal Title

Journal of adhesion science and technology    ISSN  0169-4243   CODEN JATEE8 

Source / Source

1993, vol. 7, no2, pp. 141-157 (35 ref.)

Langue / Language

Anglais

Editeur / Publisher

Taylor & Francis, Abingdon, ROYAUME-UNI  (1987) (Revue)

Mots-clés anglais / English Keywords

Experimental study

;

Copper

;

Thin film

;

Carbon steel

;

Adhesion

;

Solid solid interface

;

Ion beam etching

;

Magnetron

;

Cathodic sputtering

;

Pretreatment

;

Surface treatment

;

Auger electron spectrometry

;

Critical load

;

Roughness

;

Positron annihilation

;

Mechanical polishing

;

Transition metal

;

Mots-clés français / French Keywords

Etude expérimentale

;

Cuivre

;

Couche mince

;

Acier non allié

;

Adhérence

;

Interface solide solide

;

Gravure faisceau ionique

;

Magnétron

;

Pulvérisation cathodique

;

Prétraitement

;

Traitement surface

;

Spectrométrie Auger

;

Charge critique

;

Rugosité

;

Annihilation positon

;

Polissage mécanique

;

Métal transition

;

Mots-clés espagnols / Spanish Keywords

Estudio experimental

;

Cobre

;

Capa fina

;

Acero no aliado

;

Adherencia

;

Interfase sólido sólido

;

Grabado haz iónico

;

Magnetrón

;

Pulverización catódica

;

Pretratamiento

;

Tratamiento superficie

;

Espectrometría Auger

;

Carga crítica

;

Rugosidad

;

Aniquilación positón

;

Pulido mecánico

;

Metal transición

;

Localisation / Location

INIST-CNRS, Cote INIST : 21725, 35400003656783.0060

Nº notice refdoc (ud4) : 4798428



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