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Titre du document / Document title

Direct manufacture of miniature bio-particle electro-manipulator devices using excimer laser mask projection techniques

Auteur(s) / Author(s)

RIZVI N. H. (1) ; RUMSBY P. T. (1) ; GOWER M. C. (1) ; BURT J. P. H. (2) ; TALARY M. S. (2) ; TAME J. A. (2) ; PETHIG R. (2) ;

Affiliation(s) du ou des auteurs / Author(s) Affiliation(s)

(1) Exitech Limited, Long Hanborough, Oxford OX8 8LH, ROYAUME-UNI
(2) Institute of Molecular and Biomolecular Electronics, University of Wales, Bangor LL57 1UT, ROYAUME-UNI

Résumé / Abstract

Excimer laser mask projection techniques have been developed and used to manufacture directly miniature thin film devices for the electro-manipulation and separation of bio-particles using travelling-wave dielectrophoresis effects. Multi-level devices with 10μm-wide electrode structures have been fabricated by using excimer laser ablation techniques in both static and mask scanning modes of operation. A prototype device produced in this manner has been used to identify viable and non-viable oocysts.

Revue / Journal Title

International journal of the Japan Society for Precision Engineering    ISSN  0916-782X 

Source / Source

1999, vol. 33, no2, pp. 100-104 (4 ref.)

Langue / Language

Anglais

Editeur / Publisher

Japan Society for Precision Engineering, Tokyo, JAPON  (1991) (Revue)

Mots-clés anglais / English Keywords

Precision engineering

;

Miniaturization

;

Thin film device

;

Mask

;

Patterning

;

Laser ablation technique

;

Projection method

;

Excimer lasers

;

Ultraviolet laser

;

Biotechnology

;

Separation method

;

Travelling wave

;

Dielectrophoresis

;

Biosensor

;

Mots-clés français / French Keywords

Mécanique précision

;

Miniaturisation

;

Dispositif couche mince

;

Masque

;

Formation motif

;

Méthode ablation laser

;

Méthode projection

;

Laser excimère

;

Laser UV

;

Biotechnologie

;

Méthode séparation

;

Onde progressive

;

Diélectrophorèse

;

Biodétecteur

;

Mots-clés espagnols / Spanish Keywords

Mecánica precisión

;

Miniaturización

;

Dispositivo capa delgada

;

Máscara

;

Formacíon motivo

;

Método proyección

;

Laser UV

;

Biotecnología

;

Método separación

;

Onda progresiva

;

Dielectroforesis

;

Biodetector

;

Localisation / Location

INIST-CNRS, Cote INIST : 14901, 35400008765639.0070

Nº notice refdoc (ud4) : 1941936



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